تاریخچه ی:
فیزیک خلا
تفاوت با نگارش: 3
| - | __فیزیک خلا (Vacuum Physics)__
|
+ |
__فیزیک خلا__ (__Vacuum Physics__) |
| | | |
| | | __فهرست مقالات فیزیک خلا__ | | __فهرست مقالات فیزیک خلا__
| |
| |
|
| | | | | | |
| | | __مباحث علمی__ | | | __مباحث علمی__ |
| | | __مباحث کاربردی و تجربی__
| | | __مباحث کاربردی و تجربی__
|
| | | | |
| | | | | | |
| | | ((تکنیک خلا)) | | | ((تکنیک خلا)) |
| | | ((پمپ خلا)) | | | ((پمپ خلا)) |
| | | | |
| | | | | | |
| | | ((تکنولوژی خلا)) | | | ((تکنولوژی خلا)) |
| | | ((خلا سنج)) | | | ((خلا سنج)) |
| | | | |
| | | | | | |
| | | ((نظریه جنبشی گازها)) | | | ((نظریه جنبشی گازها)) |
| | | ((کاربرد خلا)) | | | ((کاربرد خلا)) |
| | | | |
| | | | | | |
| | | ((تکنیک لایه نشانی)) | | | ((تکنیک لایه نشانی)) |
| | | ((پمپ جذبی ماده)) | | | ((پمپ جذبی ماده)) |
| | | | |
| | | | | | |
| | | ((سیستم خلا)) | | | ((سیستم خلا)) |
| - | | ((کار بردتکنولوژی هوای فشرده)) |
+ | | ((کاربرد تکنولوژی هوای فشرده)) |
| | | | |
| | | | | | |
| | | ((انتقالات)) | | | ((انتقالات)) |
| | | ((پمپ داخلی)) | | | ((پمپ داخلی)) |
| | | | |
| | | | | | |
| - | | ((هدایت لوله ها)) |
((پمپ جابه جایی)) |
+ | | ((جریان هدایتی لوله)) |
((پمپ جابجایی)) |
| | | | |
| | | | | | |
| - | | ((نشت یابی ورفع آن)) |
+ | | ((نشت یابی و رفع آن)) |
| | | ((پمپ مکانیکی)) | | | ((پمپ مکانیکی)) |
| | | | |
| | | | | | |
| | | ((تکنولوژی هوا فشرده)) | | | ((تکنولوژی هوا فشرده)) |
| - | | ((پمپ شاره ای)) |
+ | | ((پمپ شاره‌ای)) |
| | | | |
| | | | | | |
| - | | ((خلاسازی)) |
((پمپ تله ای)) |
+ | | ((خلا سازی)) |
((پمپ تله‌ای)) |
| | | | |
| | | | | | |
| | | ((خلاسنجی)) | | | ((خلاسنجی)) |
| - | | ((پمپ دوره ای پیستونی)) |
+ | | ((پمپ دوره‌ای پیستونی)) |
| | | | |
| | | | | | |
| | | ((اتمسفر)) | | | ((اتمسفر)) |
| | | ((پمپ دوار با هوابندی روغنی|پمپ روغنی)) | | | ((پمپ دوار با هوابندی روغنی|پمپ روغنی)) |
| | | | |
| | | | | | |
| - | | ((تور واحد فشار)) |
+ | | ((یکای فشار)) |
| | | ((پمپ دوار روتس)) | | | ((پمپ دوار روتس)) |
| | | | |
| | | | | | |
| - | | ((خلا طبیی)) |
+ | | ((خلا طبیعی)) |
| | | ((پمپ مولکولی)) | | | ((پمپ مولکولی)) |
| | | | |
| | | | | | |
| | | ((نفوذ پخش)) | | | ((نفوذ پخش)) |
| | | ((پمپ دیفوزیونی)) | | | ((پمپ دیفوزیونی)) |
| | | | |
| | | | | | |
| | | ((عدم وجود خلا مطلق)) | | | ((عدم وجود خلا مطلق)) |
| | | ((پمپ افشانه بخار)) | | | ((پمپ افشانه بخار)) |
| | | | |
| | | | | | |
| | | ((گستره خلا در رنج فشار)) | | | ((گستره خلا در رنج فشار)) |
| | | ((پمپ زمرا)) | | | ((پمپ زمرا)) |
| | | | |
| | | | | | |
| | | ((پویش آزاد میانگین)) | | | ((پویش آزاد میانگین)) |
| - | | ((پمپ یونی-جذبی گرم)) |
+ | | ((پمپ یونی - جذبی گرم)) |
| | | | |
| | | | | | |
| | | ((ترکیب مجدد)) | | | ((ترکیب مجدد)) |
| - | | ((پمپ ترم بومولکی)) |
+ | | ((پمپ تربو مولکولی)) |
| | | | |
| | | | | | |
| | | ((یونسفر)) | | | ((یونسفر)) |
| | | ((جاذب زئولیت)) | | | ((جاذب زئولیت)) |
| | | | |
| | | | | | |
| | | ((فرمول بولتزمن)) | | | ((فرمول بولتزمن)) |
| - | | ((پمپ یونی-جذبی سرد)) |
+ | | ((پمپ یونی - جذبی سرد)) |
| | | | |
| | | | | | |
| | | ((توزیع ماکسولی سرعت)) | | | ((توزیع ماکسولی سرعت)) |
| - | | ((خلاسنج U شکل )) |
+ | | ((خلاسنج U شکل)) |
| | | | |
| | | | | | |
| | | ((چسبندگی)) | | | ((چسبندگی)) |
| | | ((خلاسنج مک لئود)) | | | ((خلاسنج مک لئود)) |
| | | | |
| | | | | | |
| | | ((رسانش حرارت)) | | | ((رسانش حرارت)) |
| | | ((خلاسنج واکوستات)) | | | ((خلاسنج واکوستات)) |
| | | | |
| | | | | | |
| | | ((جریان الکتریکی)) | | | ((جریان الکتریکی)) |
| | | ((خلاسنج ساده)) | | | ((خلاسنج ساده)) |
| | | | |
| | | | | | |
| | | ((مکانیک آماری)) | | | ((مکانیک آماری)) |
| | | ((خلاسنج پیرانی)) | | | ((خلاسنج پیرانی)) |
| | | | |
| - | />((پارامترهای اصلی گاز )) |
[((کمیات خلاسازی)) |
+ | >
((پارامترهای اصلی گاز)) |
((کمیات خلاسازی)) | |
| | | | |
| | | | | | |
| | | ((نفوذ فشاری)) | | | ((نفوذ فشاری)) |
| | | (( خلاسنج یونی گرم)) | | | (( خلاسنج یونی گرم)) |
| | | | |
| | | | | | |
| | | ((کمیات خلاسازی)) | | | ((کمیات خلاسازی)) |
| | | ((خلاسنج دیافراگمی)) | | | ((خلاسنج دیافراگمی)) |
| | | | |
| | | | | | |
| | | ((رژیم ویسکوزی)) | | | ((رژیم ویسکوزی)) |
| | | ((خلاسنج سرد)) | | | ((خلاسنج سرد)) |
| | | | |
| | | | | | |
| | | ((رژیم مولکولی)) | | | ((رژیم مولکولی)) |
| | | ((خلاسنج ترموکوپل)) | | | ((خلاسنج ترموکوپل)) |
| | | | |
| | | | | | |
| | | ((نفوذ گرمایی)) | | | ((نفوذ گرمایی)) |
| | | | | | |
| | | | |
| | | | | | |
| | | ((تحلیل پوازی از ویسکوزیته)) | | | ((تحلیل پوازی از ویسکوزیته)) |
| | | | | | |
| | | | |
| | | | | | |
| | | ((ضریب کنودسن)) | | | ((ضریب کنودسن)) |
| | | | | | |
| | | | |
| | | | | | |
| | | ((ضریب راینولد)) | | | ((ضریب راینولد)) |
| | | | | | |
| | | | |
| | | | | | |
| - | | ((لوله استوانهای دراز)) |
+ | | ((لوله استوانهای دراز)) |
| | | | | | |
| | | | |
| | | | | | |
| | | ((هدایت دیافراگم)) | | | ((هدایت دیافراگم)) |
| | | | | | |
| | | | |
| | | | | | |
| | | ((هدایت روزنه)) | | | ((هدایت روزنه)) |
| | | | | | |
| | | | |
| | | | | | |
| | | ((تکنیک یون سازی)) | | | ((تکنیک یون سازی)) |
| | | | | | |
| | | | |
| | | | | | |
| | | ((تکنیک لایه سازی)) | | | ((تکنیک لایه سازی)) |
| | | | | | |
| | | | |
| | | | | | |
| | | ((مکانیزم جذب)) | | | ((مکانیزم جذب)) |
| | | | | | |
| | | | |
| | | | | | |
| | | ((خلا دینامیکی)) | | | ((خلا دینامیکی)) |
| | | | | | |
| | | | |
| | | | | | |
| | | ((تکنولوژی الکتریکی)) | | | ((تکنولوژی الکتریکی)) |
| | | | | | |
| | | | |
| | | | | | |
| - | | ((تکنولوژی اتم کنی)) |
+ | | ((تکنولوژی اتم کنی)) |
| | | | | | |
| | | | |
| | | | | | |
| | | | | | |
| | | | | | |
| | | | |
| | | | | | |
| | | | | | |
| | | | | | |
| | | | |
| | | | | | |
| | | | | | |
| | | | | | |
| | | | |
| | | | | |
|
| |
| |
|
| |
| |
|
| - | *((فیزیک خلا)) | |
| | !ریشه لغوی | | !ریشه لغوی |
| - | واژه خلا به معنی تهی و خالی ترجمه واژه لاتین vacuun می‌باشد. این واژه معمولا در مورد محیطی به‌کار می‌رود که به‌نحوی از هوا خالی شده‌است. و چون در بیشتر آزمایشهای فیزیکی به محیطهای خلا نیازمندیم، بنابراین تکنیک خلا و روشهای ایجاد آن در فیزیک از اهمیت زیادی برخوردار است. |
+ | واژه «خلا» به معنی تهی و خالی ترجمه واژه لاتین vacuum می‌باشد. این واژه معمولا در مورد محیطی بکار می‌رود که به نحوی از هوا خالی شده‌است و چون در بیشتر آزمایشهای فیزیکی به محیطهای خلا نیازمندیم، بنابراین ((تکنیک خلا)) و روشهای ایجاد آن در ((فیزیک)) از اهمیت زیادی برخوردار است. |
| | !اطلاعات اولیه | | !اطلاعات اولیه |
| - | در آزمایش فتوالکتریک ، برای اینکه الکترونهای گسیل شده از کاتد بتواند خود را به آند رسانده و جذب آن شوند، لازم است که درون محفظه شیشه‌ای که کاتد و آند در داخل آن قرار دارند، خالی از هوا باشد، تا الکترون بعد از گسیل ، بدون برخورد با اتمهای هوا به آند برسد. بنابراین اگر نتوانیم محفظه شیشه‌ای را از هوا خالی کنیم، آزمایش فتوالکتریک ایجاد نمی‌شود. />آنچه ذکر شد فقط یک مورد از موارد فراوانی است که برای مشاهده نتایج آزمایش به خلاسازی نیازمندیم. بنابراین روشن است که این کار تا چه اندازه دارای اهمیت است. این مساله باعث شده‌است تا روشهای مختلف خلاسازی مورد مطالعه قرار گرفته، و انواع پمپهای خلا طراحی و ساخته شوند. |
+ | در ((آزمایش فوتوالکتریک)) ، برای اینکه الکترونهای گسیل شده از ((کاتد)) بتوانند خود را به ((آند)) رسانده و جذب آن شوند، لازم است که درون محفظه شیشه‌ای که کاتد و آند در داخل آن قرار دارند، خالی از هوا باشد، تا ((الکترون)) بعد از گسیل ، بدون برخورد با اتمهای هوا به آند برسد. بنابراین اگر نتوانیم محفظه شیشه‌ای را از هوا خالی کنیم، آزمایش فوتوالکتریک ایجاد نمی‌شود.>>آنچه ذکر شد فقط یک مورد از موارد فراوانی است که برای مشاهده نتایج آزمایش به ((خلاسازی)) نیازمندیم. بنابراین روشن است که این کار تا چه اندازه دارای اهمیت است. این مساله باعث شده‌است تا روشهای مختلف خلاسازی مورد مطالعه قرار گرفته و ((انواع پمپ خلا|انواع پمپهای خلا)) طراحی و ساخته شوند. |
| | !تعریف خلا | | !تعریف خلا |
| - | فشارهای پایین‌تر از فشار اتمسفر را به‌عنوان خلا تعریف می‌کننند. بعنوان مثال چون در شهر تبریز فشار اتمسفر در حدود 650 میلمتر جیوه است. لذا فشارهای 649 و پایین‌تر را به‌عنوان خلا در نظر می‌گیرند. |
+ | فشارهای پایین‌تر از ((اتمسفر|فشار اتمسفر)) را به عنوان خلا تعریف می‌کنند. به عنوان مثال ، چون در شهر تبریز فشار اتمسفر در حدود 650 میلیمتر جیوه است. لذا فشارهای 649 و پایین‌تر را به عنوان خلا در نظر می‌گیرند. |
| | !نواحی مختلف خلا | | !نواحی مختلف خلا |
| - | واحدهای فشار سنجی همان واحدهای خلاسنجی هستند. بنابراین درخلاسنجی نیز واحدهای پاسکال (pascal) و میلیمتر جیوه (mmHg) به‌کار می‌روند. توریچای در تقسیم‌بندی خلا به نواحی مختلف به‌جای واحدهای فوق از واحد تور (Torr) استفاده کرد. وی نواحی مختلف خلا را به صورت زیر مشخص کرد.
*خلا پایین (low vacuun) که به محیطهای با فشار یک اتمسفر یا یک تور اطلاق می‌گردد.
*خلا متوسط (medium vacuun) : محیطهایی که فشار ها در آنها بین 1 Torr الی 10<sup>-3 باشد خلا متوسط می‌گویند.
*اگر فشار هوا 10-3 الی 10-8 باشد، چنین محیطی را خلا بالا (high vacuun) می‌گویند.
*اگر در سیستمی فشار هوا 10-8 و پایین‌تر باشد، در اینصورت خلا مورد نظر خلا فرابالا (votra high vacuun) نامیده می‌شود.
از آنجا که سیستمهای کم‌فشار بیشتر ماهیت گازی دارند، بنابراین بررسی خلاسازی بیشتر در این حالت از ماده انجام می‌گیرد. |
+ | واحدهای ((فشارسنجی)) همان واحدهای ((خلاسنجی)) هستند. بنابراین در خلاسنجی نیز واحدهای ((یکای فشار|پاسکال)) (pascal) و ((فشار|میلیمتر جیوه)) (mmHg) بکار می‌روند. ((توریچلی)) در تقسیم‌بندی خلا به نواحی مختلف بجای واحدهای فوق از ((یکای فشار|واحد تور)) (Torr) استفاده کرد. وی نواحی مختلف خلا را به صورت زیر مشخص کرد.
*__خلا پایین (low vacuum):__ به محیطهای با فشار یک اتمسفر یا یک تور اطلاق می‌گردد.
*__خلا متوسط (medium vacuum):__ محیطهایی که فشار در آنها بین {TEX()} {1Toor} {TEX} الی <br />{TEX()} {10^{-3}Toor} {TEX} باشد، خلا متوسط می‌گویند.
*__خلا بالا (high vacuum):__ اگر فشار هوا {TEX()} {10{-3)Toor} {TEX} الی {TEX()} {10^{-8}Toor} {TEX} باشد، چنین محیطی را خلا بالا می‌گویند.
*__خلا فرا بالا (ultra high vacuum):__ اگر در سیستمی فشار هوا {TEX()} {10^{-8}Toor} {TEX} و پایین‌تر باشد، در اینصورت خلا مورد نظر خلا فرا بالا نامیده می‌شود.
از آنجا که سیستمهای کم فشار بیشتر ماهیت گازی دارند، بنابراین بررسی خلاسازی بیشتر در این حالت از ((حالات ماده|ماده)) انجام می‌گیرد. |
| | !ابزارهای خلاسازی | | !ابزارهای خلاسازی |
| - | خلاسازی توسط پمپ صورت می‌گیرد. متناسب با مقدار خلا مورد نیاز از پمپهای مختلفی استفاده می‌شود. انواع متداول این پمپها را می‌توان به‌صورت زیر تعریف کرد.
*پمپ افشانه‌ای : این پمپها برای ایجاد خلاهایی با مقدار 80Torr به‌کار می‌روند.
*پمپ هوابندی روغنی دوار : این پمپ می‌تواند خلاهایی با مقدار یک اتمسفر تا 5x10-2 تور ایجاد کند. این پمپها با اینکه گستره خوبی دارند، اما سطوح آنها نیاز به روغن‌کاری دارد. همچنین سیستم باید خنک نگه‌داشته شود و فشار نهایی آن قابل توجه نیست.
*پمپ روتس (Roots) :
/>گستره عمل این پمپها در فاصله 10-2 تور تا 10-4 تور قرار دارد. عیب این پمپها این است که نیاز به پیش‌پمپ دارند، همچنین فشار آن چنان پایینی هم ایجاد نمی‌کنند. از محاسن این پمپها می‌توان به سرعت تخلیه بالای آنها اشاره کرد، که در این حالت باید پس‌پمپی نیز برای جلوگیری از افزایش فشار وجود داشته‌باشد.
*پمپ مولکولی :
/>در این گونه از پمپها از زمان خواب ذرات در جداره پمپ استفاده می‌کنند. ذرات بر جداره‌های پمپ می‌خوابند یا آنها را در مدت زمانی کمتر از زمان خواب از دور خارج می‌کنند و یا آنها را در جایی جمع کرده و با حرکت ویسکوزی خارج می‌کنند. سازنده این پمپ شخصی بنام Gade بود. محدوده عمل این پمپها از فشار 10-2 تور شروع شده و تا فشار 10-12 تور نیز می‌رسد. بزرگترین عیب این پمپها این است که به دلیل دوران خیلی زیاد دارای لرزش هستند، همچنین مانند پمپ دوار نیاز به روغن‌کاری دارند.
*پمپ تربو مولکولی :
/>*در این نوع از پمپها رانش ذرات شبیه پمپ دوار است، اما مکانیزم عمل و دوران آن شبیه پمپ مولکولی است. این پمپ در گستره بالایی از فشار (در حدود 10-12)ایجاد خلا کرده و سرعت تخلیه‌اش نیز ثابت است. قیمت این پمپها خیلی زیاد است.
*پمپ دیفوزیون :
/>از این نوع پمپ برای ایجاد خلا در محدوده 10-2 تا 10-8 تور استفاده می‌گردد. بیشتر در کارهای تحقیقاتی از این نوع پمپ و پمپ دوار استفاده می‌کنند، اما این پمپ بیشتر کاربرد صنعتی دارد.
*پمپهای جذبی :
/>اساس کار این نوع پمپ بر اساس برهمکنش گاز با جامدات است. فریند جذب عمدتا به دو صورت جذب فیزیکی و جذب شیمیایی صورت می‌گیرد. پمپهای جذبی انواع مختلف دارند، که پمپ جذب یونی از جمله آنهاست. />با استفاده از این گونه پمپها می‌توان به خلاهایی با فشار 10-13 تور دست یافت.
*پمپ زمزاییک :
/>در این نوع پمپ ، با هلیوم مایع هوا را منجمد می‌کنند. برای دستیابی به خلاهای فرابالا ابتدا هوا را آنالیزکرده ، سپس در دماهای مربوطه آن را منجمد می‌کنند. با افزایش تراکم و کاهش فوق‌العاده دما هلیوم مایع بدست می‌آید. هلیوم‌های نفوذی به خارج را با تزریق هلیوم جبران می‌کنند. بوسیله این پمپها می‌توان خلاهایی با فشار 10-16 تور ایجاد کرد.
!خلا سنج‌ها
*خلاسنجهای مستقیم : این نوع خلاسنجها دارای لوله V شکل هستند که مستقیما فشار خلا را اندازه می‌گیرند. با این وسیله می‌توان تا فشار یک‌تور را اندازه گرفت.
*خلاسنجهای شبه مستقیم : در این حالت از سنجش مقاومت و ظرفیت خازن و ضریب خودالقایی سلفها به منظور فشار سنجی استفاده می‌گردد.
*خلاسنجهای مک لئود : این دستگاه نیز بر اساس اندازه‌گیری طول به فشارسنجی می‌پردازد. به این معنی که با توجه به رابطه P=pgL می‌توان با افزایش یا کاهش مقدار فشار را اندازه‌گیری کرد. که در این رابطه L طول ، g شتاب اذب ، p چگالی حجمی می‌باشد. با این وسیله می‌توان تا فشار 10-6sup> تور را اندازه گرت.
*خلاسنجهای دیگری وجود دارند که بر اساس رابطه P=nkT کار می‌کنند و از طریق دماسنجی و یا هدایت‌سنجی به فشار می‌رسند. مشهورترین این خلاسنجها ، خلاسنج ترموکوبل است. در رابطه اشاره شده T دما ، k ثابت یولتزین و n تعداد اتمهای گاز است. بطور عملی گستره بهینه این خلاسنجها در فاصله 10-2 تا 102 است.
r />*خلاسنج یونشی :
این نوع خلاسنجها که براساس یونسازی کار می‌کنند، بسته به نوع روش به‌کار رفته برای این کار به انوع مختلف تقسیم می‌شوند، که از آن جمله می‌توان به خلاسنج یونی گرم متعارف اشاره کرد. |
+ | خلاسازی توسط ((پمپ خلا)) صورت می‌گیرد. متناسب با مقدار خلا مورد نیاز از پمپهای مختلفی استفاده می‌شود. انواع متداول این پمپها را می‌توان بصورت زیر تعریف کرد:
*((پمپ افشانه‌ای)): این پمپها برای ایجاد خلاهایی با مقدار 80 Torr بکار می‌روند.
*((پمپ دوار هوابندی روغنی)): این پمپ می‌تواند خلاهایی با مقدار یک اتمسفر تا {TEX()} {5*10^{-2}Toor} {TEX} ایجاد کند. این پمپها با اینکه گستره خوبی دارند، اما سطوح آنها نیاز به روغن کاری دارد. همچنین سیستم باید خنک نگه داشته شود و فشار نهایی آن قابل توجه نیست.
*((پمپ روتس)) (Roots): گستره عمل این پمپها در فاصله {TEX()} {10^{-2}Toor} {TEX} تا {TEX()} {10^{-4}Toor} {TEX} قرار دارد. عیب این پمپها این است که نیاز به پیش پمپ دارند، همچنین فشار آنچنان پایینی هم ایجاد نمی‌کنند. از محاسن این پمپها می‌توان به سرعت تخلیه بالای آنها اشاره کرد، که در این حالت باید پس پمپی نیز برای جلوگیری از افزایش فشار وجود داشته باشد.
*((پمپ مولکولی)): در اینگونه از پمپها از زمان خواب ذرات در جداره پمپ استفاده می‌کنند. ذرات بر جداره‌های پمپ می‌خوابند، یا آنها را در مدت زمانی کمتر از زمان خواب ذرات از دور خارج می‌کنند و یا آنها را در جایی جمع کرده و با حرکت ویسکوزی خارج می‌کنند، سازنده این پمپ شخصی بنام Gade بود. محدوده عمل این پمپها از فشار {TEX()} {10^{-2}Toor} {TEX} شروع شده و تا فشار {TEX()} {10^{-12}Toor} {TEX} نیز می‌رسد. بزرگترین عیب این پمپها این است که به دلیل دوران خیلی زیاد دارای لرزش هستند، همچنین مانند پمپ دوار نیاز به روغن کاری دارند.
*__((پمپ تربو مولکولی)):__ در این نوع از پمپها رانش ذرات شبیه ((پمپ دوار)) است، اما مکانیزم عمل و دوران آن شبیه پمپ مولکولی است. این پمپ در گستره بالایی از فشار (در حدود {TEX()} {10^{-12}Toor} {TEX}) ایجاد خلا کرده و سرعت تخلیه‌اش نیز ثابت است. قیمت این پمپها خیلی زیاد است.
*__((پمپ دیفوزیون)):__ از این نوع پمپ برای ایجاد خلا در محدوده {TEX()} {10^{-2}Toor} {TEX} تا {TEX()} {10^{-8}Toor} {TEX} استفاده می‌گردد. بیشتر در کارهای تحقیقاتی از این نوع پمپ و پمپ دوار استفاده می‌کنند، اما این پمپ بیشتر کاربرد صنعتی دارد.
*__((پمپ جذبی)):__ اساس کار این نوع پمپ بر اساس برهمکنش گاز با جامدات است. فریند جذب عمدتا به دو صورت جذب فیزیکی و جذب شیمیایی صورت می‌گیرد. پمپهای جذبی انواع مختلف دارند، که ((پمپ جذبی یونی)) از جمله آنهاست. با استفاده از اینگونه پمپها می‌توان به خلاهایی با فشار {TEX()} {10^{-13}Toor} {TEX} دست یافت.
*__((پمپ زمزائیک)):__ در این نوع پمپ ، با ((هلیوم مایع)) هوا را منجمد می‌کنند. برای دستیابی به خلاهای فرابالا ابتدا هوا را آنالیز کرده ، سپس در دماهای مربوطه آن را منجمد می‌کنند. با افزایش تراکم و کاهش فوق‌العاده دما هلیوم مایع بدست می‌آید. هلیوم‌های نفوذی به خارج را با تزریق هلیوم جبران می‌کنند. بوسیله این پمپها می‌توان خلاهایی با فشار {TEX()} {10^{-16}Toor} {TEX}ایجاد کرد.
!خلاسنجها
*__خلاسنجهای مستقیم:__ این نوع خلاسنجها دارای لوله __U__ شکل هستند که مستقیما فشار خلا را اندازه می‌گیرند. با این وسیله می‌توان تا فشار یک تور را اندازه گرفت.
*__خلاسنجهای شبه مستقیم:__ در این حالت از سنجش ((خازن|مقاومت)) و ((خارن|ظرفیت خازن)) و ((سیملوله|ضریب خودالقایی سلفها)) به منظور فشارسنجی استفاده می‌گردد.
*__((خلاسنج مک لئود)): __ این دستگاه نیز بر اساس اندازه‌گیری طول به ((فشارسنجی)) می‌پردازد. به این معنی که با توجه به رابطه ~~green:__P = ρgl__~~ می‌توان با افزایش یا کاهش طول ، مقدار فشار را اندازه‌گیری کرد. که در این رابطه ، __l__ طول ، __g__ ((شتاب گاشی)) ، ρ چگالی حجمی می‌باشد. با این وسیله می‌توان تا فشار {TEX()} {10^{-6}Toor} {TEX} را اندازه گرفت.<br>
/>*__((خلاسنج یونشی)):__ این نوع خلاسنجها که بر اساس ((یونسازی)) کار می‌کنند، بسته به نوع روش بکار رفته برای این کار به انوع مختلف تقسیم می‌شوند، که از آن جمله می‌توان به ((خلاسنج یونشی|خلاسنج یونی گر)) و ((خلاسنج یونی گرم متعارف)) اشاره کرد.
*خلاسنجهای دیگری وجود دارند که بر اساس رابطه ~~green:__P = nkT__~~ کار می‌کنند و از طریق ((دماسنجی)) و یا هدایت‌سنجی به فشار می‌رسند. مشهورترین این خلاسنجها ، ((خلاسنج ترموکوبل)) است. در رابطه اشاره شده T دما ، k ((ثابت بولتزمن)) و n تعداد اتمهای گاز است. بطور عملی گستره بهینه این خلاسنجها در فاصله {TEX()} {10^{-2}Toor} {TEX} تا {TEX()} {10^2Toor} {TEX} است. |
| | !سخن آخر | | !سخن آخر |
| - | امروزه همزمان با پیشرفت روزافزون شاخه‌های مختلف علم فیزیک ، فیزیک خلا نیز گسترش چشمگیری پیدا کرده‌است و با استفاده از خلاسنجهای رادیواکتیو امکان ایجاد سیستمهای با فشار خیلی پایین حاصل شده‌است. بطوریکه با ترکیب خلاسنج رادیواکتیو و خلاسنج یونی گرم متعارف ، می‌توان تمام گستره فشاری قابل دسترس بوسیله قویترین پمپها را تحت پوشش قرار داد. |
+ | امروزه همزمان با پیشرفت روزافزون شاخه‌های مختلف ((علم فیزیک)) ، فیزیک خلا نیز گسترش چشمگیری پیدا کرده است و با استفاده از ((خلاسنج رادواکتیو|خلاسنجهای رادیواکتیو)) امکان ایجاد سیستمهای با فشار خیلی پایین حاصل شده است. بطوری که با ترکیب خلاسنج رادیواکتیو و خلاسنج یونی گرم متعارف ، می‌توان تمام گستره فشاری قابل دسترس بوسیله قویترین پمپها را تحت پوشش قرار داد. |
